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关键词：
Auto FOUP Cleaner
所属分类：
片盒清洗设备
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Auto FOUP Cleaner
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外形尺寸 |
L*W*H(单位mm)=3900x3700x3200mm（进厂搬运组件最大宽度1600mm） |
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设备重量 |
8500Kg |
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设备特点 |
高产能(≥35ea/h)、有效真空时间长、无附属设备、多Buffer区设计、可选ppb级AMC检测系统 |
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清洗、干燥形式 |
全自动喷淋式清洗，内外喷淋，FOUP旋转；IR加热+Hot CDA吹扫干燥 |
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AMC去除方式 |
真空去除、真空+N2冲洗去除 |
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AMC检测方式 |
洗前/后FOUP检测、FOUP带晶圆检测等 |
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控制形式 |
支援SECS/GEM协议通信、机台电脑控制，可存储多个Recipe |
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安全性能 |
晶圆存在检测、光栅检测、Interlock、防呆设计、漏液检测等配备齐全 |
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可靠性能 |
①ULPA高效过滤器≥99.9995%@（0.1-0.2）um；②静电离子消除 |
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性能参数 |
电压：3相，AC380V，50Hz；功率：Max 200KW；UPW压力：0.4MPa |
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UPW流量：Max 40L/min；工艺CDA压力、流量：0.7MPa、Max 4*3500L/min |
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