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关键词：
Semi-auto FOUP Cleaner
所属分类：
片盒清洗设备
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Semi-auto FOUP Cleaner
设备功能及信息概述：
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外形尺寸 |
L*W*H(单位mm)==2100x1500x2700mm（可分体进场，最低进入高度为2300mm） |
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设备重量 |
1650Kg |
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设备特点 |
干进干出，兼容性高，定制性强。人工分离清洗工件及更换工装（不同的清洗产品配有不同的工装） |
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清洗功能 |
UPW清洗+Hot UPW清洗+表面活性剂清洗（可选） |
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清洗形式 |
旋转式内外喷淋自动清洗，360°清洗无死角，可正、反旋转，转速可调节 |
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干燥形式 |
IR烘干+旋干+CDA/N2吹扫 |
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控制形式 |
PLC+触摸屏控制（一键式操作），可预设多条Recipe,操作简洁（选配SECS/GEM接口） |
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安全性能 |
工装到位检测、防呆设计、旋转机构振动监测、漏液检测等配备齐全 |
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可靠性能 |
①ULPA高效过滤器≥99.9995%@（0.1-0.2）um。②静电离子消除。③扫码系统（选配） |
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性能参数 |
电压：3相，AC380V，50Hz；功率：Max 42KW；CDA压力：≥0.6MPa |
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CDA流量：Max 460L/min；N2压力：≥0.6MPa；N2流量：Max 1000L/min |
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