炉管清洗设备（EPI Cleaner ）

外形尺寸：L*W*H(单位mm)=3600×1900×2900mm（根据不同清洗规格而定）

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炉管清洗设备

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炉管清洗设备（EPI Cleaner ）

设备功能及信息概述：

外形尺寸	LWH(单位mm)=3600×1900×2900mm（根据不同清洗规格而定）
设备重量	2700Kg（根据不同清洗规格而定）
设备特点	1、机械手臂最大负载：25 kg 2、清洗对象：不规则石英制品最大外形尺寸： 750L500W400Hmm 3、设备构成：机械臂、HN槽、HF槽、QDR槽等机构组成 4、设备安全：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等 5、酸槽主要功能：自动补液、自动槽盖、药液循环过滤、独立取样口 6、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe，操作简洁 7、选配SECS/GEM接口
清洗形式	清洗形式：左侧为电控区，右侧为工艺清洗区，顶部配有可移动式承载机械臂，底部配有万向脚轮及固定脚杯
控制形式	PLC+触摸屏控制（一键式操作），可预设多条Recipe,操作简洁（选配SECS/GEM接口）
安全性能	槽盖位置检测、安全门互锁、漏液检测等配备齐全
适用材料	石英、碳化硅
适用工艺	石英环/ 舟、石英板等零部件浸泡式清洗

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