槽式湿法设备(Cassette Type)

1.占地面积小 2.单位产出高 3.优化的空气和槽体流场

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槽式湿法设备

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槽式湿法设备(Cassette Type)

设备功能及信息概述：

技术特点	1.占地面积小
	2.单位产出高
	3.优化的空气和槽体流场
	4.良好的颗粒表现
	5.良好的均匀性
关键应用	栅极预清洗、RCA清洗、光阻去除、氧化硅腐蚀、晶圆Recycle
设备优势	1.Conveyor集成在机台的后上方，节省空间
	2.占地面积小，将外部unit集成在设备内部来减小整体的占地面积（导片机构）
	3.SWIVEL Marangoni Dryer
	4.槽内流场优化，提升设备的清洗效果和均一性
	5.工艺区隔断的空间和排风设计，更好的Particle Performance
	6.破片侦测系统，防止二次伤害

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