槽式湿法设备(Cassette Less )

1.占地面积小 2.单位产出高 3.优化的空气和槽体流场

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槽式湿法设备

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槽式湿法设备(Cassette Less )

设备功能及信息概述：

技术特点	1.占地面积小
	2.单位产出高
	3.优化的空气和槽体流场
	4.良好的颗粒表现
	5.良好的均匀性
关键应用	1.栅极预清洗、2.RCA清洗、3.光阻去除
关键应用	4.氧化硅腐蚀、5.氮化硅腐蚀、6.晶圆Recycle
设备优势	1.8寸Conveyor集成在机台的后上方，节省空间
	2.Z-X type lifter guide 设计
	3.优化的Marangoni Dryer ，兼容带PR工艺（常温IPA）
	4.槽体结构优化，槽内更好的流场，较好的清洗效果和均一性

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